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電子級EDTMPA產(chǎn)品介紹
電子級乙二胺四甲叉膦酸EDTMPA
Electronic Grade Ethylene Diamine Tetra (Methylene Phosphonic Acid) EDTMPA
一、性能與用途
電子級EDTMPA為白色結(jié)晶性粉末，具有很強的金屬離子螯合能力，在半導(dǎo)體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度
二、技術(shù)指標(biāo)
| 項 目 | 指 標(biāo) |
| 外 觀 | 白色結(jié)晶性粉末 |
| 活性（以EDTMPA計）/% | ≥95.0 |
| 單金屬離子/ppb | <1000ppb（可根據(jù)客戶需求定制） |
三、包裝與貯存
電子級EDTMPA采用電子級復(fù)合塑編袋包裝或符合出口環(huán)保要求的包裝，每袋凈重25kg，可根據(jù)客戶需求定制。貯存于室內(nèi)陰涼處，貯存期十二個月。
四、安全與防護(hù)
電子級EDTMPA為酸性固體，操作時注意勞動保護(hù)，應(yīng)避免與皮膚、眼睛等接觸，接觸后應(yīng)立即用大量清水沖洗。
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